问题标题：
列举几种集成电路典型工艺,工艺上经常提到0.18,0.25指的是什么
问题描述：
列举几种集成电路典型工艺,工艺上经常提到0.18,0.25指的是什么
冈部回答：
典型工艺：抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、气相淀积等
0.18、0.25是指工艺上刻蚀的最小线条宽度
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