问题标题：
【ITO蚀刻液和BOE蚀刻液中,Fecl3和NH4F的缓冲机理~不要照搬网上答案.答得好,我明白酸碱缓冲液的缓冲机理,但是不懂ITO跟BOE中Fecl3和NH4F,如何缓冲H+浓度变化.可以推荐能解答我的问题的书,如果我从】
问题描述：
ITO蚀刻液和BOE蚀刻液中,Fecl3和NH4F的缓冲机理~不要照搬网上答案.答得好,
我明白酸碱缓冲液的缓冲机理,但是不懂ITO跟BOE中Fecl3和NH4F,如何缓冲H+浓度变化.
可以推荐能解答我的问题的书,如果我从里面找到答案,
都薇回答：
NH4F水解会产生NH3H20和HF,这个反应在水溶液中是一个可逆平衡反应,HF消耗掉,就会促使反应朝水解方向进行,水解出HF补充体系HF的损失.
ITO蚀刻液成分我不清楚,但是FeCl3缓冲原理也是类似的.FeCl3水解产生Fe（OH）3和HCL可逆平衡,PH升高,导致水解反应朝正方向进行.
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