问题标题:
氢气还原SiHCl3的过程中为什么要无水无氧
问题描述:
氢气还原SiHCl3的过程中为什么要无水无氧
董德发回答:
SiHCl3与水反应
SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2
SiHCl3与氧气反应
SiHCl3+O2=SiO2+HCl+Cl2
楼上还原产物不是SiH4!
应该是SiHCl3+H2=Si+3HCl
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