问题标题:
CVD(化学气相沉积)的原理及应用是什么
问题描述:
CVD(化学气相沉积)的原理及应用是什么
陆亚俊回答:
CVD(ChemicalVaporDeposition,化学气相沉积),指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程.在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD...
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