1目的：检查洁净室（区）空气中悬浮粒子数是否符合要求.2范围：凡本公司10万级、1万级、100级的洁净环境均应作悬浮粒子检查.3职责：测定尘埃粒子数人员、工艺员对本程序实施负责.4程序4.1所用仪器光散射粒子计数器.4.2测试规则4.2.1测试条件4.2.1.1温度和湿度洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃~24℃,相对湿度控制在45%~60%之间为宜）.4.2.1.2压差空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥4.9Pa,空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压.4.2.2测试状态静态测试时,室内测试人员不得多于2人.4.2.3测试时间4.2.3.1对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始.4.2.3.2对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始.4.3尘埃粒子数测定4.3.1选择采样位置4.3.1.1对于层流净化间,规定在气流垂直上方,洁净室作业区域上流段位置测量.4.1.2对于紊流净化间,在水平面上采样.4.3.2选择最少采样点采样悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目,查表1确定.4.3.3采样点的位置采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置.4.4仪器操作参照《尘埃粒子计数器操作程序》.4.5结果计算悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算：4.5.1采样点的平均粒子浓度∑CiA=N式中：A—某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3；Ci—某一采样点的粒子浓度（i=1,2,3……N）粒/m3；N—某一采样点上的采样次数,次.4.5.2平均值的均值∑AiM=L式中：M—平均值的均值,即洁净室（区）的平均粒子浓度,粒/m3；Ai—某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2,3……L）粒/m3；L—某一洁净室（区）内的总采样点数,个.4.5.3标准误差SE=√∑（Ai－M）2/(L-1)式中：SE—平均值均值的标准误差,粒/m3.4.5.4置信上限UCL=M+t×SE式中：UCL—平均值均值的95%置信上限,粒/m3；t—95%置信上限的t分布系数,见下表.95%置信上限的t分布系数采样点数L23456789＞9t6.312.922.352.132.021.941.901.86注：当采样点多于9点时,不需要计算UCL.4.6结果评定判断悬浮粒子洁净度级别依据下述二个条件：4.6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即≤级别界限.洁净度级别尘埃数/m3≥0.5μm≥5μm100≤3500010000≤350000≤2000100000≤3500000≤200004.6.2全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限.表1最少采样点数目面积（m2）洁净度级别10010000100000＜102~322≥10~＜20422≥20~＜40822≥40~＜1001642注：表中的面积,对于单向流洁净室,指的是送风面积；对于非单向流洁净室,指的是房间面积. 　　记得采纳啊