问题标题:
【等离子体溅射什么是等离子体溅射?】
问题描述:
等离子体溅射什么是等离子体溅射?
姜先果回答:
用直流或射频的方法使稀有气体电离成等离子体,再通过偏置等方法轰击在需要溅射的靶上,使靶上的原子有足够的能力脱离原子间的力飞溅出来,最后落在需要镀的基板上
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