FTIR傅氏转换红外线光谱分析仪(FourierTransforminfraredspectroscopy) 　　用于半导体制造业.FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器. 　　目的：·已发展成熟,可Routine应用者,计有：A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测.B.芯片之含氧、含碳量预测.C.磊晶之厚度量测.· 　　发展中需进一步Setup者有：A.氮化硅中氢含量预测.B.复晶硅中含氧量预测.C.光阻特性分析.FTIR为一极便利之分析仪器,STD的建立为整个量测之重点,由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜. 　　目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的,光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成.而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪,把样品放在检测器前,由于样品对某些频率的红外光产生吸收,使检测器接受到的干涉光强度发生变化,从而得到各种不同样品的干涉图.这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线,借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图.这一过程可有计算机完成. 　　用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤： 　　1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图; 　　2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光； 　　3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱,得到样品的透射光谱或吸收光谱. 　　参考百科